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PECVD系统

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详细信息

为了降低化学沉积温度,利用了等离子体的活性来促进反应,这种CVD系统称之为等离子体增强型化学气相沉积系统(PECVD),该设备可以根据气体的种类数量、射频功率大小、气体是否需要预热、沉积所需温区随意定制。


主要技术参数

型号

QJ1200-PE60

QJ1200-PE60Y

工作温度

1000

1000

升温速率

10/min

10/min

气体预热区

200mm

沉积区长度

200mm

440mm

恒温区长度

100mm

220mm

石英管管径

50/60mm

50/60/80/100mm

控温方式

30PID程序控温

30PID程序控温

射频功率

100/300/500W自匹配

100/300/500W自匹配

射频频率

13.56Mhz

13.56Mhz

真空泵抽速

4L/s

4L/s

真空度

10Pa

10Pa

进气种类

1~4

1~4

功率

220V/4kw

220V/7kw


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