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CVD系统

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详细信息

 简介:

 常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空体统三部分组成。改系统可以满足绝大部分气氛或真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单独匹配成不同部件以满足不同的实验条件,如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计,单通道或多通道,管式炉可以选择1200/1500/1700℃单温区或者多温区炉子。


主要技术参数:

型号

QJ1200-CVD60

QJ1700-CVD60

工作温度

1100

1600

升温速率

10/min

10/min

气体预热区

200mm

加热区长度

200/440mm

200/300mm

恒温区长度

100/220mm

50/100mm

管径

50/6/80/100mm

50/60/80mm

控温方式

30PID程序控温

30PID程序控温

真空泵

机械泵/分子泵

机械泵/分子泵

真空度

10-3Pa

10-3Pa

进气种类

1~4

1~4


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